海德漢HEIDENHAIN編碼器
海德漢是擁有一百多年光刻制造技術(shù)的德國(guó)公司。以生產(chǎn)高精度的產(chǎn)品而著名，產(chǎn)品主要包括HEIDENHAIN直線光柵尺、HEIDENHAIN長(zhǎng)度計(jì)、HEIDENHAIN角度編碼器、海德漢旋轉(zhuǎn)編碼器、HEIDENHAIN數(shù)控系統(tǒng)、海德漢3D測(cè)頭和海德漢數(shù)顯裝置等。
海德漢公司的光學(xué)掃描型光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。
這些精密光柵通過多種光刻工藝制造。光柵的制造方式有：
在玻璃上鍍硬鉻線
在鍍金鋼帶上蝕刻線條
在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結(jié)構(gòu)圖案
海德漢公司開發(fā)的光刻工藝生產(chǎn)的典型柵距為50um~um。
這些光刻工藝制作的光柵距非常小，而且線條邊緣清晰均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。
旋轉(zhuǎn)編碼器的位置測(cè)量精度主要取決于：
徑向光柵的方向偏差
刻線碼盤相對(duì)軸承的偏心
軸承徑向偏差
與聯(lián)軸器的連接導(dǎo)致的誤差
編碼器內(nèi)和編碼器外細(xì)分和數(shù)字化電路中的細(xì)分誤差
ECN/EQN/ERN系列旋轉(zhuǎn)編碼器有內(nèi)置軸承和安裝式定子聯(lián)軸器。它能補(bǔ)償徑向跳動(dòng)和對(duì)正誤差且?guī)缀醪挥绊懢取＞幋a器軸直接連接被測(cè)量軸。軸角加速期間，定子聯(lián)軸器必須只吸收軸承摩擦所導(dǎo)致的扭矩。定子聯(lián)軸器允許被測(cè)軸軸向竄動(dòng)量為：
HEIDENHAIN海德漢EQN1325編碼器
內(nèi)置軸承并安裝在電機(jī)內(nèi)的旋轉(zhuǎn)編碼器
安裝式定子聯(lián)軸器
安裝直徑65 mm
錐度軸
每轉(zhuǎn)位置數(shù)：8192 (13 bits)
電氣允許轉(zhuǎn)速：≤ 12000 min–1
增量信號(hào)：1 VSS
線數(shù)：2048
系統(tǒng)精度：± 20"
電源:5 V± 5%
Shaft:錐度軸；錐度1:10
定子聯(lián)軸器固有頻率:≥ 1800 Hz
工作溫度:115°C~-40
防護(hù)等級(jí) IEC 60529:IP 40安裝后
重量:約 0.25 kg
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